莫特高純氣體過濾器可對低至0.0015μm的顆粒進(jìn)行9對數(shù)過濾，從而產(chǎn)生無顆粒氣體。為了大限度地提高氣體過濾效率、強(qiáng)度和可靠性，GasShield POU全金屬氣體過濾器是超高純（UHP）氣體輸送應(yīng)用的理想選擇。它們與大多數(shù)高純度電子級工藝氣體兼容。

不銹鋼過濾介質(zhì)

• 操作條件：

max工作壓力：3750 psig（258.5 barg）

惰性氣體的highest工作溫度：450°C

max壓差：1000磅/平方英寸（68.9巴）

• 材料：

五金件：316L SS

過濾介質(zhì)：316L SS

潤濕硬件表面光潔度：5 Ra，電拋光

• 過濾器效率（對數(shù)折減值）：

≥9 LRV（顆粒減少99.9999999%）。

根據(jù)SEMI F38-0699測試方法，確定最大穿透粒度為0.08μm

• 顆粒去除尺寸：≥0.0015μm
• 氦氣泄漏等級：1 x 10-9 atm cc/sec
• 水分貢獻(xiàn)：根據(jù)SEMI F27測試方法，在低流量環(huán)境吹掃下1小時(shí)后<10 ppb
• 總碳?xì)浠衔铮旱陀赟EMASPEC 90120396B測試方法的可檢測限值
• 顆粒脫落：根據(jù)SEMI F43-0308試驗(yàn)方法，背景以上的顆粒貢獻(xiàn)為零（<1顆粒/ft³）
• 產(chǎn)地：美國

用于半導(dǎo)體、LED、光伏和MEMS設(shè)備連接的超高壓氣體棒。閥門歧管箱、氣體柜、工具隔離氣體箱、車載氣體輸送箱中的超高壓過濾或任何需要超高純度顆粒去除的工藝。