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BILZ電子氣動位置控制EPPC

  • 品  牌:BILZ
  • 型  號:EPPC
  • 技術資料:
  • 閱讀次數:556

產品介紹

用于高度動態和振動敏感的機器和儀器的實時液位控制。

EPPC實時液位控制可實現+/-10µm的生產精度,并顯著減少偏轉和沉降時間,以響應動態負載變化基于智能瀏覽器的用戶界面,用于設置、診斷和監控。

電子氣動位置控制EPPC為高精度機器、高度動態和振動敏感的測量機器、顯微鏡以及測試和生產機器提供好的振動隔離。

EPPC可以與三到六個BiAir薄膜空氣彈簧控制組組合,以控制多達六個自由度。Bilz為系統設計提供各種不同尺寸的空氣彈簧。

電子氣動液位控制系統與BiAir薄膜空氣彈簧相結合,可實現位置精度,并減少動態負載變化時的偏轉和沉降時間。

性能特點

  • 位置精度(+/-10µm)
  • 可單獨調節的系統參數(如阻尼)
  • 響應荷載變化的短撓度和沉降時間
  • 每個自由度一個高性能伺服閥和一個位移傳感器
  • 采用CAN總線技術的優化連接系統
  • 基于瀏覽器的智能用戶界面,用于設置、診斷和監控,通過以太網連接,可進行遠程維護
  • 操作員狀態顯示(例如準備就緒、工作位置、動作完成、錯誤)
  • 用于外部控制和監控的數字I/O接口
  • 高分辨率信號處理和伺服閥技術帶來的無噪聲控制
  • 堅固可靠的空氣彈簧技術,可與Bilz BiAir®薄膜空氣彈簧結合使用
  • 無干擾發熱、磁場波動或電磁執行器的高功耗

產品結構與細節

技術參數

  • 典型系統負載:800 kg–120.000 kg
  • 垂直固有頻率:1,2–2,5 Hz
  • 水平固有頻率:2,2–2,8 Hz
  • 控制類型:伺服氣動
  • 適合潔凈室:是
  • 通信接口:以太網、數字I/O
  • 產地:德國

-傳感器分辨率:

  • 位移測量系統:0.76µm
  • 壓力傳感器:0.36毫巴
  • 采樣率傳感器信號:1 kHz(過采樣后)

產品應用

  • 高精度機器
  • 振動敏感和高度動態的測量機
  • 顯微鏡
  • 半導體行業的測試和生產機器

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