膜組件適合脫氣、給氣的結(jié)構(gòu)，它不透液體,只透氣體。選項(xiàng)多,以多種類型迎合多種用途-可膜內(nèi)處理。膜外部磨皮減少結(jié)露的產(chǎn)生，不使用氮?dú)?能提高一定的效率，可按不同組件可脫至達(dá)ppb單位。

顯影液用

處理流量大

產(chǎn)地：韓國(guó)

膜材料：PFA

膜面積：約0.33 m²

本體（真空側(cè)）：SUS 304

接頭（潤(rùn)濕側(cè)）：PTFE

標(biāo)準(zhǔn)流速：50 CC/min

標(biāo)準(zhǔn)流量時(shí)的壓力損失：0.05 MPa(0.05 kg/cm²)

除氣性能：8.4 ppm以下⇒7.2 ppm以下

脫氣標(biāo)準(zhǔn)：22~24 ℃ 超純水

連續(xù)流量：50 kΩ

連續(xù)流速：50 CC/min

真空壓力：100 Torr

尺寸：Ø 102 × 155 mm（不包括配件）

液體入口直徑：Ø6管接頭

液體出口直徑：Ø6管接頭

真空孔：PT 1/ 4

Max液體溫度：40 ℃或以下

Max工作壓力：0.2 MPa(0.2 kg/cm²)指模塊內(nèi)部壓力

正常壓力：0.2 MPa(0.2kg/cm²)

水容量：200 ml

去離子水的脫氣、超音波清洗用水脫泡沫處理、含有表面活性劑的液體