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NUMERIK JENA光柵尺Kit L4 vac

產品介紹

Kit L系列直線光柵尺特別設計用于個性化的應用。該系列產品不僅擁有極小的尺寸，更提供配置能力。該系列產品幾乎不限制設計師的設計自由。

性能特點

  • 特殊真空版的Kit L2帶EPIFLEX讀數模塊（2場掃描）
  • 帶EPIFLEX讀數模塊（2場掃描）
  • 光柵尺部件滿足真空度達10 E-6 mbar（UHV）的氣壓要求
  • 1 Vpp或RS 422輸出信號
  • 多達100倍的細分信號
  • 最小測量步距僅50 nm
  • 運動速度達10 m/s（1 Vpp）
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