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COHERENT準分子激光器VarioLas Sweep

產品介紹

基于強大的 COMPex 準分子激光器的系統是用于具有線光束或方形光束場形狀的高質量 UV 微加工的靈活工具。

光學設計、堅固的機械結構和具有脈沖間穩定性的準分子激光器可提供非常準確的結果。應用包括激光剝離 (LLO) 分離、摻雜劑離子激活、燒蝕圖案化和薄膜退火。

性能特點

  • 高分辨率光學和機械結構確保可重復的結果
  • 模塊化設計，提供靈活使用的定制選項
  • 方光束和線光束場以獲得更優的結果
  • 支持所有 COMPex 激光器型號以實現有效率的加工

技術參數

產品尺寸

產品應用

激光剝離分離

摻雜離子激活

燒蝕圖案

準分子激光退火

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