HPD 4 K 低溫晶圓探針是一種高精度全自動探針臺，適用于 4 K 環境中的 150 毫米和 200 毫米基板。為了加速商用量子和超導計算機的實現，我們為芯片開發人員提供了智能迭代設計所需的工具。4 K 低溫晶圓探測器集成了可配置的 DC 和 RF 電纜，以及可用于測試配置的更大靈活性的定制探針卡。具有集成磁屏蔽的穩健設計提供了必要的穩定環境條件，以確保為敏感的超導設備提供高質量的數據。全自動晶圓裝載和復雜的 Velox 軟件套件允許進行高吞吐量測試和無人值守操作，以快速獲取數據。FormFactor 長期的探測知識和數十年的準確低溫經驗在該系統中相結合，將超導設備的測試和測量從實驗室帶入晶圓廠。

環境控制

• 晶圓溫度驗證 <4.5 K（44 個射頻探頭接觸）
• 磁場抑制<200 nT
• 高度均勻的晶圓溫度
• 準確的熱穩定性和控制
• 堅固的花崗巖底座結構可實現準確的運動和振動控制

靈活性

• 輕松更換可定制的探針卡
• 可配置為 150 毫米或 200 毫米晶圓
• 多達 56 個射頻同軸電纜（高達 18 GHz）
• 多達 520 條直流線路

自動化

• 全自動晶圓裝載或手動選項
• 用于手動、半自動或全自動探測的完整軟件套件

數據獲取時間

• 25 個晶圓盒容量，用于全自動測試
• 每個晶圓約 15 分鐘的冷卻時間
• 用于快速模具到模具運動的高速運動平臺

用于快速穩定時間的剛性運動堆棧

量子計算、超導芯片開發、量子信息科學