ECS 5 端口 3 位 (5/3) 伺服比例方向閥設計用于使用壓縮空氣和其他中性氣體運行。其高頻響應 (110 Hz)、壓力平衡設計和低泄漏（100:1 調節比）使其成為開環和閉環控制系統的選擇。ECS 高速伺服比例方向控制閥有兩種不同的流量選項，訂貨代碼 01 和 05，可在高流量和低流量應用中實現大分辨率。借助兩個研磨閥芯和閥套，閥門的閘門元件，可在 vac...20.7 bar (vac...300 psig) 的寬壓力范圍內實現 0 至 585 slpm 的流量。

5/3 雙向比例流控制

直動式直線力馬達

無限可變閥門定位（3 個位置）

低滯后

高帶寬

壓力平衡設計

快速換檔時間

低泄漏