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ENTEGRIS空氣過濾器CMP

產品介紹

CMP化學空氣過濾器對 22 nm 及以下波長的各種空氣分子污染物提供全面保護。保護工藝設備和晶圓免受空氣分子污染的破壞性影響。

性能特點

  • 防止 22 nm 及以下的 AMC
  • 針對酸性污染物的平衡介質混合
  • 去除關鍵的酸、堿和有機物以降低污染風險

技術參數

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