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VAT泄漏閥59024-GEGG

  • 品  牌:VAT
  • 型  號:59024-GEGG
  • 技術資料:
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產品介紹

59.0 UHV 全金屬可變泄漏閥允許準確控制非常小的氣體流量(1·10-10 mbar ls)。 憑借其全金屬設計,它非常適合 UHV 和UHV 工藝中的氣體計量要求。

59.0 的特殊控制功能保證了可重復的準確氣體流量設置,增強了過程控制能力。它還在整個生命周期內提供可靠、無泄漏的關閉,沒有任何密封疲勞的風險。

全金屬設計——不銹鋼閥體和鍍金不銹鋼薄膜閘門密封——使 59.0 還具有對腐蝕性和腐蝕性氣體的高耐受性。

59.0 已經安裝在各種工藝條件下的數千種苛刻應用中,證明了其可靠性。它已成為 UHV 和 XHV 應用中可變泄漏閥的標準解決方案。

 

性能特點

  • 用于氣流的高精度氣體計量
  • 準確重現的氣體流量設置
  • 可靠的終生防漏密封
  • 耐腐蝕性和腐蝕性氣體
  • 氣體流量下的壓力控制
  • 增強的過程可控性
  • 正常運行時間長

技術參數


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