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ENTEGRIS比例控制閥NT6300

產品介紹

NT 6300 型比例控制閥專為高的純度應用而開發。 該閥與高腐蝕性工藝兼容,專為 CMP 漿料應用而設計,是解決當今流量控制需求的理想選擇。 該閥門采用 PFA 和 PTFE 用于接液部件,惰性材料用于非接液部件,可耐受惡劣的化學環境和外部噴射。 采用新的電機驅動技術,內部電子控制閥門步進電機的各個方面。 閥門使用 Entegris 的算法設計驅動,以保持所需的設定值。

性能特點

用于高的純度應用和耐腐蝕的 PTFE 潤濕表面

用于密封和污染保護的雙隔膜結構

使用我們先進的算法設計來驅動閥門以保持所需的設定值

優化閥座和隔膜設計,大限度地減少死體積和流體剪切;從全關到全開的可靠控制

占地面積小,可在有限空間內輕松進行現場安裝

技術參數


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