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ONTO光刻系統JetStep G35

  • 品  牌:ONTO
  • 型  號:JetStep G35
  • 技術資料:
  • 閱讀次數:1108

產品介紹

JetStep G35 系統專為靈動性而設計,利用一系列高性能投影鏡頭為平板顯示器制造商實現高分辨率成像。Jetstep G35 系統是一款大批量制造成像系統,適用于高達 3.5 代的顯示器。JetStep G35 系統可實現低至 1.5µm 的高分辨率成像,并結合先進的高分辨率顯示器制造所需的配準和拼接精度。適用于高達Gen 3.5尺寸的平板顯示器應用的高分辨率成像。

性能特點

  • 自動放大控制增加了工藝窗口
  • 板載標線管理系統提供大利用率
  • 用于現場校準的機載計量包
  • 在每個曝光位置進行動態自動對焦,以自動調整面板拓撲上的焦點
  • 提供系統性能和故障排除反饋的板載診斷

技術參數

  • 行業標準的 6 英寸光罩格式,用于經濟的制造
  • 低至 1.5µm 的高分辨率成像

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