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ONTO光刻系統JetStep G45

  • 品  牌:ONTO
  • 型  號:JetStep G45
  • 技術資料:
  • 閱讀次數:1219

產品介紹

JetStep G45 系統可滿足移動顯示行業的苛刻要求。該系統基于成熟的步進技術,將優化的性能與良好的擁有成本相結合。JetStep G45 系統在 >200mm 的視場直徑范圍內具有 <1.5μm 的分辨率能力。低失真光學結合高速運動使系統能夠實現<0.5μm的覆蓋。JetStep G45 系統放大光學器件允許使用 6 英寸標線片(掩模),與競爭技術相比,顯著降低了加工成本。此外,該系統占地面積小,可大限度地降低設施成本,其無摩擦運動可減少磨損,從而降低維護成本。綜合節省導致成本低廉的制造過程,降低了資本支出和擁有成本 (COO)。 

性能特點

  • 自動放大控制增加了工藝窗口
  • 板載標線管理系統提供大利用率
  • 用于現場校準的機載計量包
  • 在每個曝光位置進行動態自動對焦,以自動調整面板拓撲上的焦點
  • 提供系統性能和故障排除反饋的板載診斷

技術參數

  • 分辨率達 1.5µm 的高保真投影鏡頭和照明系統
  • 行業標準的 6 英寸光罩格式,用于經濟的制造

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