VIV 真空隔離閥旨在與 nXDS、XDS、nXLi 和 nXRi 干式初級泵一起使用，是一種高電導、快速作用的高真空隔離閥，旨在防止蒸汽或顆粒從前級泵移動到工藝室 . 當 VIV 關閉時，前級泵排氣。 當泵停止或停止時，VIV 可保護工藝室不被通風。 當前級泵重新啟動時，閥門將在 VIV 內的壓力下降時緩慢打開，從而大限度地減少任何壓力爆裂的影響。

• VIV 閥具有高傳導性
• 快速關閉動作
• 斷電保護
• 靈活的安裝選項
• 不限制主泵性能
• 防止蒸汽或微粒從前級泵遷移到工藝室
• 防止電源故障時工藝室排氣

• 關閉壓差:>200 mbar
• 開啟壓差:<200 mbar
• 開啟開關時間:<15s
• 用于合閘切換時間:<0.1s
• 響應時間切換時間:<0.05s
• 機身材質:鋁
• 密封材料:氟橡膠